Светодиодный холоэллипсометр с бинарной модуляцией поляризации рассеяния света одноосным двумерным кристаллом

Представлен холоэллипсометр почти нормального рассеяния света оптически одно-осным кристаллом с использованием бинарной модуляции поляризации света. Он актуален для топометрических систем, широко используемых в нанотехнологиях и медицине. Получены основные уравнения холоэллипсометрии нормального рассеяния света.

Light-Diode Holoellipsometer with Binary Modulation of Polarization Employing Light Scattering from Uniaxial Bi-Dimension Crystal

A holoellipsometer with binary modulation of polarization employing almost normal light scattering by the sample representing itself an optically uniaxial crystal is presented. The device is actual for the tomometric tools which are widely used in nanotechnologies and medicine. The main equations of the holoellipsometry employing normal light scattering method are obtained.

Download
Authors
Ali M.2 , Kiryanov A.P.3 , Kovalev V.I.4 , Kvasha I.V. 1
Journal
RUDN Journal of Mathematics, Information Sciences and Physics
Publisher
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования Российский университет дружбы народов (РУДН)
Number of issue
2
Language
English
Pages
201-209
Status
Published
Year
2013
Organizations
  • 1 Peoples’ Friendship University of Russia
  • 2 Bauman Moscow State Technical University
  • 3 Scientific and Technological Center for Unique Instrumentation of RAS
  • 4 Department of the Kotelnikov Institute of Electronics and Radiotechniques of RAS
Keywords
ellipsometry; light scattering; polarization; uniaxial bi-dimensional crystals; холоэллипсометрия; рассеяние света; поляризация; одноосные кристаллы; холоэллипсометрия; рассеяние света; поляризация; одноосные кристаллы
Cite
ГОСТ MLA RIS BibTex
Share

Other records

INTERFERENCE REFRACTOMETRY OF TERAHERTZ SURFACE PLASMON-POLARITONS LAUNCHED BY A FREE-ELECTRON LASER

Article
GERASIMOV V.V., KNYAZEV B.A., NIKITIN A.K., NIKITIN V.V., RIJOVA T.A.
RUDN Journal of Mathematics, Information Sciences and Physics. Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования Российский университет дружбы народов (РУДН). 2013. P. 191-200