Приведены результаты исследований дифракция лазерного излучения на отражательных фазовых дифракционных решетках (ДР), которые образованы рельефом с прямоугольной формой на поверхности плоской подложки, и применение таких ДР для построения оптоэлектронных датчиков угловых колебаний объектов. Приведены формулы для расчета мощностей дифракционных порядков, представлены расчетные графики зависимостей мощности излучения дифракционных порядков от угла падения оптической волны на ДР при различных глубинах рельефа ДР. Показана возможность применения оптоэлектронной схемы с отражательной ДР для построения датчиков угловых колебаний поверхности, сейсмометров и модулятора мощности излучения лазера.
The results of research on the diffraction of laser radiation on reflective phase diffraction grat-ings (DG), which are formed by a rectangular relief on the surface of a flat substrate, and the use of such DR for the construction of optoelectronic sensors of angular vibrations of objects are presented. Formulas for calculating the power of diffraction orders are given, calculated graphs of the dependences of the radiation power of diffraction orders on the angle of incidence of the optical wave on the DR at different depths of the relief of the DR are presented. The pos-sibility of using an optoelectronic circuit with a reflective DR for the construction of sensors of angular vibrations of the surface, seismometers and a modulator of laser radiation power is shown.