ИССЛЕДОВАНИЯ ПРОЦЕССОВ ЗАРОЖДЕНИЯ И РОСТА ФУНКЦИОНАЛЬНЫХ СЛОЕВ НА ОСНОВЕ ZnO ПРИ ФИЗИЧЕСКИХ И ГАЗОТРАНСПОРТНЫХ МЕТОДАХ СИНТЕЗА

Исследованы и проанализированы процессы формирования функциональных слоев на основе ZnO в качестве компонентов систем отображения информации, солнечных преобразователей и иных приложений. Рассмотрены перспективы их практического использования в устройствах прозрачной (оксидной) электроники. Процессы формирования слоев методами магнетронного распыления рассмотрены в комплексе с характеристиками, составом, стехиометрией распыляемых керамических мишеней.

STUDY OF THE NUCLEATION AND GROWTH PROCESSES OF ZnO-BASED FUNCTIONAL LAYERS DURING PVD AND CVD METHODS

The formation of ZnO-based functional films as components of information display systems, solar cells and other applications are studied and analyzed. The prospects of their practical use in " transparent oxide electronics" are considered. The processes of ZnO thin film deposition by magnetron sputtering methods are considered in combination with the characteristics, composition, stoichiometry of sputtered ceramic targets.

Authors
Abduev A.Kh. 1, 2 , Akhmedov A.K.1 , Asvarov A.Sh.1 , Muslimov A.E. , Belyaev V.V. 2 , Borisova A.S. 2 , Finagina I.A. 2 , Flyazhnikova L.S. 2 , Chasiluisa P.S.S. 2
Conference proceedings
Вакуумная техника, материалы и технология
Publisher
Общество с ограниченной ответственностью "Электровакуумные технологии"
Language
Russian
Pages
73-78
Status
Published
Year
2020
Organizations
  • 1 Институт физики Дагестанского федерального исследовательского центра РАН
  • 2 Российский университет дружбы народов
  • 3 ФНИЦ «Кристаллография и фотоника» РАН
  • 4 Московский государственный областной университет
Keywords
ZnO; nucleation; coalescence; columnar structure; grain boundary; sintering; target; оксид цинка; зарождение; коалесценция; столбчатая структура; межзеренная граница; спекание; мишень
Cite
ГОСТ MLA RIS BibTex
Share

Other records

VACUUM-LEVITATION CONVEYOR LINE FOR MAIL TRANSPORTATION

Article
Kondratenko R.O., Semyonov S.V., Nesterov S.B., Holopkin A.I., Terentyev Yu.A., Koledov V.V., Drozdov B.V., Shavrov V.G., Malinezki G.G., Osipov V.M., Tochilo V.V., Brazhnik P.S., Zimenkova T.A., Sysoev M.A., Lavrentiev A.I., Kurenkov P.V., Yasev S.G., Samvelov A.V.
Вакуумная техника, материалы и технология. Общество с ограниченной ответственностью "Электровакуумные технологии". 2020. P. 293-301