Энергодисперсионная схема на основе полупроводникового рентгеновского спектрометра и широкополосного монохроматора для определения содержания тяжелых элементов по спектрам поглощения

Описана энергодисперсионная схема, предназначенная для определения содержания примесей тяжелых элементов по абсорбционным спектрам в области скачков рентгеновского фотопоглощения. Для регистрации данных в спектральной полосе шириной до 1 кэВ использованы полупроводниковый рентгеновский спектрометр и монохроматор из пиролитического графита. Исходная форма спектра поглощения в приближении изолированного атома реконструировалась численным решением уравнения свертки. Схема обеспечивает резкое увеличение темпа сбора данных и повышение чувствительности измерений. Представлены результаты измерений содержания Bi и Pb в образцах с органической матрицей, а также определения толщины тонких пленок Mo на алмазной подложке.