ИССЛЕДОВАНИЕ МАГНЕТРОННОГО НАПЫЛЕНИЯ ОКСИДНЫХ НАНОПОКРЫТИЙ НА ДЕТАЛИ ИЗ КОНСТРУКЦИОННОЙ КЕРАМИКИ ДЛЯ ПОВЫШЕНИЯ ИХ ИЗНОСОСТОЙКОСТИ И ПРОЧНОСТИ

Исследован процесс магнетронного напыления оксидных нанопокрытий на поверхность деталей из конструкционной керамики после механической абразивной обработки. Приведены микрофотографии структуры поверхности керамики после шлифования. На основании многофакторного планирования проведён эксперимент. Рассчитаны уравнения регрессии и построены поверхности отклика для адгезии и толщины покрытия.