ЭЦР-источники на основе коаксиального резонатора со спиральной волноводной структурой

На основе коаксиальных резонаторов, центральный электрод которых выполнен в виде спирали, разработаны компактные ЭЦР-источники плазменного потока CERA-RHI и потока диссоциированных молекул CERA-RHD. Предполагается их использование в научных исследованиях и в вакуумно-плазменных технологиях, а CERA-RHI - также в качестве двигателя коррекции орбит легких космических аппаратов.

ECR-plasma sources based on coaxial resonators with helical wave structure

The coaxial resonators with helical wave structure of inner electrode are used to form plasma flow (CERA-RHI), as well as dissociated molecular flow (CERA-RHD). It has been found experimentally that total ion current in CERA-RHI could reach 60 mA under 50 W microwave power (2.47 GHz) and that density of hydrogen atomic flow in CERA-RHD was about 1018 cm-2c-1. We suppose that these types of sources can be used to scientific investigations, to discharge ion thruster for small satellite propulsion system and to negative ions as well as multicharge ions sources. PACS: 52.80.Pi