МЕТОДИКА ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ШЕРОХОВАТОСТИ ГЛАДКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ДИЭЛЕКТРИКОВ ВОЛНОВОДНЫМ МЕТОДОМ

Использование рассеяния света на шероховатости поверхностей плоского волновода позволяет измерять параметры шероховатости с рекордными для оптических методов чувствительностью и разрешением. В статье обоснована методика этих измерений. Сформулированы и проанализированы условия, при которых предложенная методика обеспечивает достоверные результаты измерений. Экспериментально изучена проблема переноса профиля поверхности на верхнюю границу пленки. Выполнен сравнительный анализ двух методов измерения коэффициента затухания волн в волноводах интегральной оптики. Проведены измерения параметров искусственной шероховатости поверхности, которые подтвердили правильность разработанной методики.

THE METHOD OF MEASURING OF PARAMETERS OF ROUGHNESS OF SMOOTH DIELECTRIC SURFACES BY THE WAVEGUIDE METHOD

The use of light scattering on the surface roughness in flat waveguide makes it possible to measure the parameters of roughness with the record sensitivity and the permission for the optical methods. In the article the procedure of these measurements is substantiated. The conditions with which the proposed procedure provides the reliable results of measurements are formulated and analyzed. The problem of transfer of the profile of surface to upper boundary of film is experimentally studied. The comparative analysis of two methods for measurement of the attenuation factor of waves in the waveguides is executed. The measurements of the parameters of the artificial surface roughness are carried out which confirmed the correctness of the developed procedure.