Теоретическое и экспериментальное исследование резонансных механизмов взаимодействия заряженных частиц с электромагнитными и электростатическими волнами различного частотного диапазона

Проведены теоретические исследования взаимодействия электромагнитного импульса с плазмой в области электронного циклотронного резонанса и распадной неустойчивости лазерной волны при поперечном распространении в магнитоактивной плазме. Установлены закономерности в процессах самомодуляции электромагнитного импульса и резонансного возбуждения плазменных волн в режиме ЭЦР, экспериментально показана возможность создания одноступенчатого микроволнового источника многозарядных ионов (CERA-Z), разработана конструкция микроволнового источника плазмы для обработки полупроводниковых пластин диаметром до 30 см (CERA-T), показана возможность его реализации, создан микроволновый источник радиального азимутально-симметричного потока плазмы (CERA-R), разработана и проведена апробация конструкции, обеспечивающей высокоэффективную бездефектную обработку полупроводниковых структур атомарным водородом с целью модификации их электрооптических характеристик (CERA-L). Все исследуемые микроволновые источники плазмы рассчитаны для работы на частоте 2,45 ГГц, что обеспечивает их низкую себестоимость и высокую надежность в работе, а резонансные механизмы взаимодействия частиц плазмы с электромагнитными и электростатическими полями обеспечивают высокую энергетическую эффективность.

Publisher
Всероссийский научно-технический информационный центр
Number of issue
5
Language
Russian
Pages
84-84
Status
Published
Year
2007
Organizations
  • 1 РУДН
Date of creation
08.07.2024
Date of change
08.07.2024
Short link
https://repository.rudn.ru/en/records/article/record/117349/
Share

Other records

Милантьев В.П
Сборник рефератов научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ. Серия 16: 29. Физика. 30. Механика. 41. Астрономия. 89. Космические исследования. Всероссийский научно-технический информационный центр. 2007. P. 83-83
Андреев В.В.
Сборник рефератов научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ. Серия 16: 29. Физика. 30. Механика. 41. Астрономия. 89. Космические исследования. Всероссийский научно-технический информационный центр. 2007. P. 85-85