Измерение толщины тонких металлических пленок с помощью лазерного зондирования

Предложен и реализован на практике бесконтактный метод измерения толщины тонких металлических пленок. Рекомендуемый диапазон измеряемых толщин 100-1500 А. Метод основан на зондировании лазерным пучком периодической рельефной структуры прямоугольного профиля, которая сформирована на небольшом участке исследуемой пленки и покрыта вторичным металлическим слоем.

Measuring Thickness of Thin Metallic Films with the Use of Laser Probing Technique

Proposed and practically carried out поп-contact method of measuring thickness of thin metallic films. The recommended range of the thickness measured is from 100A to 1500A. The method is based on probing by a laser beam periodic rectangular patterns, formed on a small portion of the film being studied and coated with a secondary metallic layer.