Оптические волноводы на основе плёнок, изготовленных по технологии золь-гель

В работе проведён аналитический обзор по оптическим волноводам на основе плёнок, изготовленных по методу золь-гель. Определены оптимальные параметры технологического режима для реализации пленок Si02-Ti02. Изготовлены оптические волноводы на основе плёнок SiOb-TiO-i и исследованы их характеристики. Установлено наличие отрицательного температурного коэффициента полученных плёнок.

Optical Waveguides on the Base of Sol-Gel Films

The analytical review of optical waveguides on the base of sol-gel films is made. The optimal technology parameters for realization of SiC>2-Ti02 films were found. The optical waveguides based on SiOv-TiOi films were prepared. Characteristics of these waveguides were measured. The temperature optical coefficient of the prepared films found to be negative.