MEASUREMENT OF RECTANGULAR TYPE PERIODIC STRUCTURE DEPTH WITH USING LASER PROBING METHOD Article Kuznetsov M.A., Komotskii V.A., Kaschenko N.M. Вестник Российского университета дружбы народов. Серия: Физика. Российский университет дружбы народов (РУДН). 2001. P. 101-103