Микроэлектроника

Тип
Журнал
Издательство
Российская академия наук, Физико-технологический институт им. К.А. Валиева РАН
Коды
ISSN: 0544-1269
Поделиться

Список записей

Отображать:
Сбросить

КОМПЛЕКСНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ НЕРАВНОМЕРНОСТИ СВОЙСТВ ТОНКОПЛЕНОЧНОГО КАТОДА LICOO<SUB>2</SUB>, ИЗГОТОВЛЕННОГО МЕТОДОМ ВЧ-МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ

Статья
Курбатов С.В., Рудый А.С., Наумов В.В., Мироненко А.А., Савенко О.В., Смирнова М.А., Мазалецкий Л.А., Пухов Д.Э.
Микроэлектроника. Российская академия наук, Физико-технологический институт им. К.А. Валиева РАН. Том 53. 2024. С. 189-205

Страница 1 из 1. Записи с 1 по 1 из 1

Другие источники записей