Интерференционная холоэллипсометрия «in situ» прозрачного двумерного одноосного кристалла при нормальном отражении лазерного излучения

В работе представлены: а) метод интерференционной холоэллипсометрии in situ (эллипсометрия полного набора измеряемых параметров: модулей и фаз комплексных амплитудных коэффициентов отражения света с линейными p- и s-поляризациями) при нормальном отражении лазерного излучения от прозрачного двумерного одноосного кристалла с оптической осью в плоскости отражающей поверхности; б) реализующий предложенный метод холоэллипсометр на основе интерферометра Майкельсона с фазовой модуляцией лазерного излучения.

Interference Holoellipsometry "in situ" of a Transparent Two-Dimensional Uniaxial Crystal at Normal Angle Laser Radiation Reflection

The following issues are considered in the paper: a) method of the in situ interference holoellipsometry (ellipsometry with the complete set of measured parameters: modules and phases of complex amplitude reflection coefficients for linear p- and s-polarizations) of a transparent two-dimensional uniaxial crystal at normal reflection angle of the laser radiation under the condition that the crystal optical axis belongs to the reflecting surface; b) schematic of the holoellipsometer realizing the method and employing the Michelson interferometer with phase modulation of the radiation.

Authors
Ali M.2 , Kachurin Yu.Yu.2 , Kiryanov A.P.3 , Ryjova T.A. 1 , Shapkarin I.P.4
Publisher
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования Российский университет дружбы народов (РУДН)
Number of issue
1
Language
Russian
Pages
77-84
Status
Published
Year
2012
Organizations
  • 1 Peoples’ Friendship University of Russia
  • 2 Bauman Moscow State Technical University
  • 3 Scientific and Technological Center for Unique Instrumentation of RAS
  • 4 Moscow State University of Design and Technology
Keywords
эллипсометрия; интерференция; интерферометр Майкельсона; комплексный показатель преломления; поляризация света; эллипсометр; ellipsometry; interference; Michelson interferometer; complexrefractive index; polarization of light; ellipsometer
Date of creation
04.12.2019
Date of change
04.12.2019
Short link
https://repository.rudn.ru/en/records/article/record/54624/
Share

Other records

Zhizhin G.N., Kyrianov A.P., Golovtsov N.I., Khitrov O.V., Nikitin A.K.
RUDN Journal of Mathematics, Information Sciences and Physics. Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования Российский университет дружбы народов (РУДН). 2012. P. 85-95