Особенности формирования плазмы импульсно периодического резонансного СВЧ-разряда в инертных газах (Ar, He) промежуточного диапазона давлений

Проведено экспериментальное изучение динамики формирования плазмы инертных газов (Ar, He) импульсно-периодического резонансного СВЧ-разряда в диапазоне давлений 1×10-3–10 Торр и подводимой мощности от 100 до 600 Вт. Проведены измерения временных зависимостей падающей и отраженной мощности, а также интегральной интенсивности оптического излучения в фазе пробоя и формирования стационарного состояния. Определены зависимости характерных времен формирования плазмы от рабочих параметров разряда: давления плазмообразующего газа, вкладываемой мощности и скважности импульсов нагрева.

Features of plasma formation of a pulse-periodic resonant microwave discharge in inert gases (Ar, He) under reduced pressure